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          預(yù)計明年12月底完成中試,安徽微芯長江半導(dǎo)體材料有限公司碳化硅項目開工

          來源:集微網(wǎng) 1273 2020-11-24

          11月19日,安徽微芯長江半導(dǎo)體材料有限公司成立暨建設(shè)工程奠基儀式在安徽銅陵經(jīng)開區(qū)舉行。

          圖片來源:上海申和熱磁電子有限公司

          上海申和熱磁電子有限公司消息顯示,安徽微芯長江半導(dǎo)體材料有限公司SiC項目落戶銅陵經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)以來,僅用50天就開始動工興建。項目投資13.50億元,占地100畝,新建廠房建筑使用面積3.2萬平,包括碳化硅晶體生長車間、晶圓加工車間、研發(fā)中心、動力廠房、輔助用廠房等。

          項目以4&6英寸工藝兼容的自動化產(chǎn)線為實施要點,建設(shè)工期4年,從2020年10月起至2024年10月止,計劃2021年3季度完成廠房建設(shè)和設(shè)備安裝調(diào)試,2021年12月底完成中試并開始試銷,達(dá)成后預(yù)計年產(chǎn)4英寸碳化硅晶圓片3萬片、6英寸12萬片。

          上海申和熱磁電子有限公司是日本Ferrotec集團(tuán)在上海的子公司。Ferrotec(中國)始創(chuàng)于1992年,擁有上海、杭州、銀川、銅陵等多地布局。Ferrotec(中國)的產(chǎn)品重點集中在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的各相關(guān)領(lǐng)域,可向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體設(shè)備、半導(dǎo)體消耗品以及半導(dǎo)體零部件洗凈服務(wù)等,特別是半導(dǎo)體硅拋光片、氣相沉積碳化硅、硅部件、高純石英制品、高純陶瓷制品和半導(dǎo)體功率基板以及真空腔體等產(chǎn)品。

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